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本实用新型涉及一种聚合物微球体的处理设备，包括：罐体，罐体的顶部设有出气管、底部设置有进气管，进气管包括热风管道和冷风管道；出气管设有出口滤网；主滤网，设置于罐体内将罐体内部空间分隔为上下层，上层为聚合物微球体的处理腔，下层为气体缓冲腔，用...
该专利属于上海芯谦集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯谦集成电路有限公司授权不得商用。

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