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一种利用脉冲激光束在工件（１）内形成通孔的加工方法，包括如下步骤：在工件（１）上提供可移除的牺牲层（１ａ），在提供牺牲层（１ａ）的状态下通过激光束在工件内形成通孔（５），并在形成通孔的步骤之后从工件移除牺牲层。...该专利属于住友电气工业株式会社;国立大学法人京都大学所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社;国立大学法人京都大学授权不得商用。
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一种利用脉冲激光束在工件（１）内形成通孔的加工方法，包括如下步骤：在工件（１）上提供可移除的牺牲层（１ａ），在提供牺牲层（１ａ）的状态下通过激光束在工件内形成通孔（５），并在形成通孔的步骤之后从工件移除牺牲层。...