其中形成有通孔的物体以及激光加工方法技术

一种利用脉冲激光束在工件（１）内形成通孔的加工方法，包括如下步骤：在工件（１）上提供可移除的牺牲层（１ａ），在提供牺牲层（１ａ）的状态下通过激光束在工件内形成通孔（５），并在形成通孔的步骤之后从工件移除牺牲层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有由脉冲激光加工而成的通孔的产品，并涉及激光 加工方法。
技术介绍
在诸如多层高密度布线板的布线板中，传统上通过利用挖孔等的 机械加工来形成通孔。然而，在近来布线密度增加，通孔的直径被制 作得更小并且布线板中通孔之间的间距也被制作得更小的情况下，不 容易应用机械加工。为解决这些问题并进一步提高加工效率，存在采 用使用激光束的激光加工的趋势。然而，在脉冲激光被用于形成通孔 的情况下，如图10(a)、 (b)所示，通孔具有锥形形状，这引起例如不良 电镀的问题。此外，产生了如图ll(a)、 (b)中所示的飞散片、毛刺等， 引起增加例如重做的工艺的数量的问题。为解决这些问题，希望研发 用于利用脉冲激光形成通孔的高精度技术。对于图10(a)、(b)和图ll(a)、 (b)，将结合示例进行详细的描述。为满足上述要求，已经提出了在精度上改善的激光加工方法。例 如，提出的以下方法，即在形成通孔的过程中将激光束应用到工件的 每一个表面，以便于制作直形通孔(近似于直圆柱体或以锥角收縮)(专 利文献1)。采用该方法，通孔前侧和后侧上的直径可以被制作成几乎 彼此相等。因此，能够减小通孔的锥本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用脉冲激光束在工件内形成通孔的激光加工方法，包括如下步骤：　在所述工件上提供可移除的牺牲层；　在提供所述牺牲层的状态下，通过激光束在所述工件内形成通孔；以及　在形成该通孔的所述步骤之后，从所述工件移除所述牺牲层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三岛英彦，奥田泰弘，阪部周二，桥田昌树，清水政二，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，国立大学法人京都大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]