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本实用新型提供了一种检查设备和检查系统。检查设备包括透射成像装置，配置成构建被检查对象的透射图像；和衍射检测装置，配置成检测被检查对象的至少一部分的特性。透射成像装置限定检查通道。检查设备包括直线形轨道，沿横向跨检查通道。衍射检测装置能够沿...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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