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本发明提供一种形成图案的方法和形成图案的装置。在一个示例性实施方式中，形成图案的方法包括：(a)在基板上形成具有开口且包含第1材料的第1图案的工序；(b)在开口内形成包含与第1材料不同的第2材料的填充部的工序；及(c)通过去除第1图案，填充...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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