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半导体存储器件制造技术
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文档序号:37405655
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提供了一种能够提高器件的性能和/或可靠性的半导体存储器件。该半导体存储器件包括:衬底,具有单元区和沿着单元区的外围限定的外围区,其中单元区包括由单元元件分离膜限定的有源区;单元区分离膜,在衬底中并限定单元区;以及多个存储接触,连接到有源区并...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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