下载芯片磁强计光学集成方法及芯片磁强计的技术资料

文档序号:37401205

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本发明提供了一种芯片磁强计光学集成方法及芯片磁强计,芯片磁强计光学集成方法包括:在衬底表面集成封装激光器光源以形成光源集成芯片,在衬底表面增加介质层;将芯片化的准直镜片与预置了介质层的光源集成芯片进行键合;将芯片化的偏振镜片与芯片化的准直镜...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。

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