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本发明涉及一种增强旋涂胶厚均匀性的方法。本方法是在旋涂聚合物胶之前，在圆形衬底边缘部分加工成以圆形衬底中心为原点的微米级尺寸的圆形凹槽，圆形凹槽具有上部窄、底部宽的特点，随着圆形凹槽的半径增加其圆形凹槽底部逐步变宽；当旋涂完聚合物胶后，把样...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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