下载三维集成电路结构的技术资料

文档序号:37400881

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公开了一种三维集成电路结构,其包括有源器件管芯和堆叠在有源器件管芯上的无源器件管芯。有源器件管芯包括:第一基板,包括彼此相反的正面和背面;在第一基板的背面上的供电网络;在第一基板的正面上的器件层;在器件层上的第一布线层;以及从供电网络垂直地...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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