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本发明提供设置方法，不追加传感器而能够在短时间内进行设置。使升降机构从保持面所保持的晶片的上方下降，存储磨削磨具的下表面与晶片的上表面接触时的磨削机构的高度。并且，根据该高度而求出磨削磨具的下表面与保持面接触时的磨削机构的高度即原点高度。这...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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