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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:37396867
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提供了一种半导体器件,包括:衬底,具有单元阵列区、外围电路区、以及它们之间的边界区;栅电极,位于单元阵列区中,并位于延伸到衬底的内部的多个字线沟槽中;器件隔离层,位于衬底的外围电路区中并限定多个有源区;以及边界结构,位于边界区中,并且位于延...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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