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本实用新型公开了一种悬臂梁结构波导芯片的研磨板,包括研磨板本体,所述研磨板本体包括第一面、第二面、第三面和第四面,所述第二面和第三面位于所述第一面的背侧,所述第四面连接于所述第一面和所述第三面的底边之间,所述第二面与所述第三面的顶边连接,所...该专利属于苏州源数芯通信科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州源数芯通信科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种悬臂梁结构波导芯片的研磨板,包括研磨板本体,所述研磨板本体包括第一面、第二面、第三面和第四面,所述第二面和第三面位于所述第一面的背侧,所述第四面连接于所述第一面和所述第三面的底边之间,所述第二面与所述第三面的顶边连接,所...