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本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种均流器和电镀设备。均流器内分隔有第一容腔及第二容腔,且均流器设置有进液口,进液口与第一容腔连通;均流器围合成第一容腔的两个相对的侧壁上分别开设有多个阳极孔及多个第一均流孔,多个第一均流孔阵列布置...该专利属于东莞市晟悦半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市晟悦半导体设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种均流器和电镀设备。均流器内分隔有第一容腔及第二容腔,且均流器设置有进液口,进液口与第一容腔连通;均流器围合成第一容腔的两个相对的侧壁上分别开设有多个阳极孔及多个第一均流孔,多个第一均流孔阵列布置...