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本公开提供了一种单晶炉副室清洁装置及方法，该单晶炉副室清洁装置包括：基座；可轴向伸缩的伸缩杆，其包括轴向相对的顶端和底端，底端固定在基座上；驱动伸缩杆轴向伸缩的伸缩驱动部件，伸缩驱动部件连接至伸缩杆的底端；驱动伸缩杆旋转的旋转驱动组件，基座...
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