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本公开内容的实施方式涉及用金属氟化物涂层涂布腔室部件的制品、涂布的腔室部件、方法及系统，所述金属氟化物涂层包括至少一种化学式为M1
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该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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