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一种垂直腔面发射激光器的形成方法，包括：提供衬底，包括第一区和第二区，包括：基底；位于基底上的第一反射镜结构；位于第一反射镜结构上的有源层；位于有源层上的第二反射镜结构；在第二区内形成第一凹槽，贯穿所述第二反射镜结构及有源层，并嵌入第一反射...
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