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本发明提供一种硅料处理方法和装置。硅料处理方法，包括以下步骤：提供标准硅片和待处理硅料；将所述标准硅片和所述待处理硅料放入反应槽内进行反应；检测所述标准硅片的反应状态参数；根据所述标准硅片的反应状态参数调整所述待处理硅料的反应进程。本发明实...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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