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构成一种基板处理装置，具备：处理液供给喷嘴，其至少向基板的表面的周缘部供给处理液来进行处理；载置台，其载置被供给所述处理液的所述基板；移动体，其包括用于检测与载置于所述载置台的所述基板之间的距离的第一距离传感器；移动机构，其使所述移动体在所...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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