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本实用新型提供了一种防脱落陶瓷柱、一种晶圆加热盘以及一种半导体器件的加工装置。上述防脱落陶瓷柱包括：陶瓷柱本体；以及防脱槽，位于所述陶瓷柱本体的底部，并由长方型槽和圆柱型槽组成，其中，所述长方型槽位于所述圆柱型槽的下方，所述陶瓷柱本体在设于...
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