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氧化钨基忆阻器的制备方法及目标跟踪系统技术方案
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文档序号:37367127
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本发明涉及氧化钨基忆阻器的制备方法及目标跟踪系统,其中氧化钨基忆阻器的制备方法,包括以下步骤:氧化铟锡玻璃经清洗设定时间,得到底部电极;钨靶通过直流磁控溅射在底部电极上生长得到氧化钨膜,形成第一阻变层;氧化铟镓锌靶通过射频磁控溅射在第一阻变...
该专利属于济南大学所有,仅供学习研究参考,未经过济南大学授权不得商用。
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