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本文公开的实施方式包括处理工具及使用处理工具的方法。在一个实施方式中，处理工具包含腔室、及用于使一种或多种处理气体从多个气源流入腔室中的盒。在一个实施方式中，处理工具进一步包含用于多个气源的每一者的质量流量控制器、及在气源与盒之间的质量流量...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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