下载喷嘴及化学机械研磨装置的技术资料

文档序号:37359593

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本公开实施例提供一种喷嘴及化学机械研磨装置,涉及研磨装置技术领域。该喷嘴用于向化学机械研磨装置的研磨垫提供处理液,研磨垫的承载面的法线方向为第一方向;其中,喷嘴包括具有流通通道的本体,流通通道用于与处理液供给装置连通;本体包括与流通通道连通...
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