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喷嘴及化学机械研磨装置制造方法及图纸
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下载喷嘴及化学机械研磨装置的技术资料
文档序号:37359593
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本公开实施例提供一种喷嘴及化学机械研磨装置,涉及研磨装置技术领域。该喷嘴用于向化学机械研磨装置的研磨垫提供处理液,研磨垫的承载面的法线方向为第一方向;其中,喷嘴包括具有流通通道的本体,流通通道用于与处理液供给装置连通;本体包括与流通通道连通...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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