下载三维存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:37355637

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本申请提供一种三维存储器及制备方法。制备方法包括:在初始衬底上限定的第一区域内形成外围电路,并采用第一填充层覆盖第一区域;在初始衬底的、除第一区域之外的部分形成凹槽,并在凹槽内形成第一叠层结构;在第一叠层结构和外围电路上形成第二叠层结构;以...
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