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本发明提供一种晶圆覆硼夹具及覆硼装置，属于制造半导体器件的设备技术领域，覆硼夹具，包括：转盘及定位组件。定位组件沿转盘的圆周阵列设有至少三组，包括沿转盘法线方向滑动设置的滑块，滑块的顶面的前端设有圆弧结构的侧压板，侧压板的内壁半径与晶圆的外...
该专利属于四川上特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川上特科技有限公司授权不得商用。

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