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半导体器件制造技术
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文档序号:37347828
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一种半导体器件包括:衬底,包括有源单元区域、边界区域和在其间的虚设单元区域;位线,设置在有源单元区域上,在第一方向上延伸,并在第二方向上彼此间隔开,位线包括在第二方向上交替布置的第一位线和第二位线;位线垫,在边界区域上在第二方向上彼此间隔开...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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