温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种半导体设备喷头结构及气体输送装置，涉及半导体设备的技术领域，包括喷头主体；喷头主体贯穿开设有通孔，通孔沿着喷头主体的表面呈长条狭缝结构；通过长条狭缝结构的通孔取代圆孔，可以减少通孔的数量，方便加工和检测，而且长条狭缝结构...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。