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本实用新型公开一种应用在碳化硅成膜装置中的硅烷收集装置，涉及碳化硅成膜装置技术领域，包括与排气口连接的排气管，排气管上依次设置有用于冷却气体的冷却机构、比例阀、真空泵和废气处理机构，排气管上在比例阀安装位置处还设置有加热组件，比例阀的排气端...
该专利属于宁波恒普真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波恒普真空科技股份有限公司授权不得商用。

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