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本发明为一种碳化硅粉料合成及晶体生长炉的电极引出装置，属于半导体材料装备制造技术领域，其包括水冷电极接管件，水冷电极接管件内设置有水冷电极，水冷电极包括水路连接组件、导电组件、锁紧组件和电极转接组件；其中，水路连接组件至少部分位于水冷电极接...
该专利属于山西天成半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西天成半导体材料有限公司授权不得商用。

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