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本申请提供一种晶圆静电吸盘的检测方法，先获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的库仑力阈值，以及伸缩接地针突出于晶圆静电吸盘的表面的高度阈值，而后在无晶圆状态下，采用压力计获取伸缩接地针与晶圆静电吸盘的表面齐平时的压力值，以及采用高度计获...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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