下载一种深紫外AlGaN基多量子阱发光二极管及其制备方法的技术资料

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本发明涉及一种深紫外AlGaN基多量子阱发光二极管,包括包括衬底、AlN本征层、N型AlGaN模板层、多量子阱有源区、AlGaN复合势垒层、P型AlGaN盖层、P型GaN欧姆接触层、N型欧姆电极、P型欧姆电极。一种深紫外AlGaN基多量子阱...
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