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本发明提供一种兆声辅助的研磨盘及研磨总成。兆声辅助的研磨盘包括：研磨盘本体，其第一表面开设有容纳槽；上盘，覆盖研磨盘本体的第一表面，并与研磨盘本体可拆卸连接；兆声发生器；换能器，设置于容纳槽内，并与兆声发生器电连接；匹配层，在容纳槽内与换能...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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