下载一种用于ESD防护的双向低电容垂直器件的技术资料

文档序号:37321036

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本发明属于电子科学与技术领域,特别涉及一种用于ESD防护的双向低电容垂直器件,包括n+型衬底(01)、p型埋层(02)、p型外延层(03)、n型埋层(04)、第一n型外延层(051)、第二n型外延层(052)、第一隔离区(31)、第二隔离区...
该专利属于电子科技大学重庆微电子产业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学重庆微电子产业技术研究院授权不得商用。

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