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本发明实施例公开了一种检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质；所述方法包括：预先获取晶圆表面打标编码的多种异常类型；利用OCR识别系统读取待测晶圆表面的打标编码，并根据读取结果判定所述打标编码所对应的潜在异常类型；利用CCD识别系...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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