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本申请提供一种晶圆固定位置缺陷分析方法、装置及电子设备，晶圆的生产至少需经过M个设备机台的工艺流程，方法为预先构建存储晶圆经过每个设备机台时的凹口方向的数据库；对第M个设备机台扫描并获取有固定位置缺陷的晶圆图像，晶圆图像中的一片晶圆的固定位...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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