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本发明公开了一种含U型柔性传感结构的并联微型六维微力传感器，包括，上盖板、下盖板及弹性支腿，所述弹性支腿的两端分别固定在上盖板及下盖板，所述弹性支腿包括两个两轴正交柔铰和U型柔性传感结构，所述U型柔性传感结构位于两个两轴正交柔铰之间，在弹性...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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