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本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测...
该专利属于先进自动器材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进自动器材有限公司授权不得商用。

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