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本公开提供了一种半导体设备的维护装置，用于对半导体设备进行维护，半导体设备的待维护部件设置有挂耳，半导体设备的维护装置包括机械臂和卡盘，卡盘设置于机械臂的自由端部，卡盘包括本体以及设置于本体上的卡接机构，本体与机械臂的自由端部连接，卡接机构...
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