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提供了一种能够形成高度矩形性的抗蚀剂图案的化学放大型抗蚀剂组合物。一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含具有特定结构且cLogP为2.76～3.35的碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)和溶剂(C)。溶剂(C)。溶剂(C)。
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