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半导体器件制造技术
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文档序号:37294410
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提供了一种半导体器件。该半导体器件包括:下纳米片;在下纳米片上的上纳米片;在基板上并提供在每个纳米片周围的栅电极;在第一栅电极和第二栅电极的第一侧的第一下源极/漏极区;在第一栅电极和第二栅电极的第二侧的第二下源极/漏极区;在第一下源极/漏极...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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