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存储器装置制造方法及图纸
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下载存储器装置的技术资料
文档序号:37294175
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提供了一种存储器装置。所述存储器装置可以包括:基底;铁电场效应晶体管,设置在基底上;第一沟道,接触铁电场效应晶体管的栅极结构,并且在竖直方向上从铁电场效应晶体管的栅极结构延伸;选择字线,设置在第一沟道的一侧处;第一栅极介电层,设置在第一沟道...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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