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半导体结构的制造方法及半导体结构技术
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文档序号:37292290
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本公开提供一种半导体结构的制造方法及半导体结构,半导体结构的制造方法包括:提供基底,包括衬底和覆盖于衬底的顶面的叠层结构,衬底包括第一有源区、存储阵列区和预设区域;去除覆盖于存储阵列区和预设区域的叠层结构,以暴露出衬底的部分顶面;形成导电层...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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