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本发明属于半导体元件涂层的技术领域,公开了一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用。所述感光性树脂组合物包括结构如式(1)所示的酚醛树脂、光产酸剂以及交联剂。该感光性树脂组合物可在较低温度下完全固化,并且所得固化膜具有良好的弹性、拉...该专利属于福建泓光半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建泓光半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明属于半导体元件涂层的技术领域,公开了一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用。所述感光性树脂组合物包括结构如式(1)所示的酚醛树脂、光产酸剂以及交联剂。该感光性树脂组合物可在较低温度下完全固化,并且所得固化膜具有良好的弹性、拉...