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本发明公开了一种均匀生长区熔级多晶硅棒的方法。硅烷热解的分解炉由钟罩、硅棒、冷却夹套、石墨电极、进出口构成，本发明提供了制备多晶硅棒的最佳热通量、压力、进口流量、硅烷比率、冷却夹套的温度和硅烷原料的预热温度，以保证硅棒在炉内的均匀生长、硅烷...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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