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本实用新型提供了一种一种晶圆冷却平台、一种前端模组以及一种半导体器件的加工装置。上述晶圆冷却平台包括支撑架，其中，支撑架围绕待冷却晶圆的多个冷却侧，并伸入晶圆的底部以支撑晶圆，支撑架为中空结构，其内部通有冷却循环水；气体管道，嵌于支撑架的中...
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