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本发明公开了一种清洗光伏生产用石墨舟的微波等离子体干法刻蚀工艺，对内置有石墨舟的工艺腔体输入经远程微波等离子体系统作用产生的等离子体，并对工艺腔体内的石墨舟施加由射频电源产生的交变电场，通过交变电场驱动等离子体轰击石墨舟，实现清除石墨舟上沉...
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