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用于在衬底中、特别是在电路衬底（１）中借助激光束钻孔的方法，其中具有小于待钻的孔径的光束斑点直径（Ｆ１）的激光束在至少一条圆形轨道（Ｋ）上运动，　　　　其特征在于，　　　　分别在激光束（４）对准新的钻孔（１４，１５）时，光束轴首先沿通过其开...
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