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半导体存储器装置及其制造方法和包括其的电子系统制造方法及图纸
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下载半导体存储器装置及其制造方法和包括其的电子系统的技术资料
文档序号:37271627
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一种半导体存储器装置可包括:单元衬底,其包括单元阵列区和延伸区;单元衬底上的第一模制结构;第一模制结构上的第二模制结构;穿过单元阵列区上的第一模制结构和第二模制结构的沟道结构;以及穿过延伸区上的第一模制结构和第二模制结构的单元接触结构。第一...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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