温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种离子注入机硅片背面注入专用装载盘，包括装载盘主体：所述装载盘主体的上侧设置有硅片主体，所述装载盘主体的上侧且位于硅片主体的外侧设置有安装单元。通过设置有夹环一、夹环二、滑槽、滑块与弹簧，便于通过弹簧的弹力，使夹环二快速对...
该专利属于无锡凯世通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡凯世通科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。