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本实用新型提供了一种靶材存储装置，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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