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加工装置制造方法及图纸
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文档序号:37258175
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本发明提供加工装置,即使是具有上部拍摄单元和下部拍摄单元的加工装置,也不会在由显示单元显示的图像中产生不协调感,能够共享在对准等图像处理中使用的关键图案等数据。加工装置的保持单元包含具有保持晶片的上表面的透明板和支承该透明板的框体。拍摄单元...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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